製品案内

本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
3kW5連EBガンを付属しておりますので、多種の材料を連続して蒸着させることができます。
EBガンはUHV対応ですので、超高真空下での蒸着が可能です。

■ 蒸着チャンバー
１．到達圧力 1×10⁻⁷Pa以下
２．チャンバーサイズ φ406×600程度
３．基板ホルダー サイズ ： φ5インチ
加熱温度 ： 最高 300℃ 冷却機構付
４．蒸発源 3ｋW5連型EBガンルツボ容量 ： 2cc×5
５．膜厚モニター
６．排気系 TMP
■ LLチャンバー
７．到達圧力 6.5×10⁻⁶Pa以下