製品案内
Product informationイオンコーター IB-5
概要
この装置は高分解能SEM用として、粒子の細かなPtやPt-Pdのスパッタコーティングが可能なばかりでなく、金属やセラミック、生体硬組織等のイオンエッチングが効率よく行なえます。
電極は上下ともドーナツ型をしていて、安定な放電を維持させる距離に固定してあり、試料台はこの電極間を上下可能にして試料とターゲット間隔が自由に選択できます。
製品仕様
１. 上部電極（ターゲット）: φ45mm - φ70mm （ドーナツ形）
２. 下部電極 : φ50mm - φ70mm （ドーナツ形）
３. 試料台冷却 水冷式
４. ターゲット・試料台間隔 20mm、35mm、45mm、55mm の4段可変
５. イオン化電圧 : D.C. 0～3000V
６. イオン化電流 : 10ｍA（Max）電流計付
７. コーティング用電極（オプション） Au / Pt-Pd / Pt
８. 真空ポンプ R.P50L/min （内臓）
