製品案内

3インチのスパッタ源を１元装着しており、電源ラックも架台収納式で、非常にコンパクトで使い易い設計です。

■ 成膜室
１．到達圧力 2×10⁻⁵Pa以下
２．チャンバーサイズφ253×400H程度
３．基板寸法 2インチ（シャッター機構付）
４．スパッタ源 3インチ
５．排気系 TMP210L/sec　　R.P162L/min