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装置と電源が一体型でコンパクトです。

前扉方式なので操作性に優れています。

他チャンバーやグローブBOXとの接続ができますので、拡張性があります。

１. 到達圧力 10⁻⁵Pa台
２. 基板ホルダー φ１インチ基板対応
３. 蒸発源 無機セル ×2式 有機セル ×2式
４. 膜厚モニター 2元表示