製品案内

従来のEW-5型より更に小型の水冷式MBE装置です。

小型でありながらRHEEDも取り付き、MBEとしての基本性能はすべて満たされております。

更に豊富なコンポーネンツと組み合わせることにより、いろいろな薄膜作製ができる様になります。

■ 成膜室

１．到達圧力 10⁻⁷Pa

２．基板寸法 1インチ

３．基板加熱温度 800℃

４．ヒーター材質 ランプヒーター

５．熱電対 WRe (5-26)

６．排気系 TMP345L/sec　　R.P162L/min

■ ロードロック室

７．到達圧力 10⁻⁴Pa

８．排気系 TMP60L/sec　　R.P90L/min

■ オプション

９．小型RHEED　/　ラジカル源　/　セル　/　3ｋWEBガン　/　スパッタ源