製品案内
Product information有機蒸着装置 EO-5
概要
本装置は有機EL薄膜作成及び材料開発のための次の工程を、真空を破らずに一貫して作業できる様設計された装置です。
有機材料の蒸着 / マスクパターニング / 素子評価機能
製品仕様
■ チャンバー
１．到達圧力 10⁻⁵Pa
２．チャンバーサイズφ400mm×400mm
３．基板寸法 30mm×30mm（Max）
４．基板装着枚数 5枚
５．マスクホルダー 有機用/メタル用 各2枚
６．排気系 TMP500L/sec R.P162L/min
写真２はEO-5を用いて作製した有機ELデバイスの特性
データ提供 京都大学 国際融合創造センター 藤田研究室
