製品案内
component informationラインセル ELC-3000
概要
1.ロールコーターやインライン等、連続成膜する装置に最適です。
2.ルツボ容量、セル幅は装置に合せて製作致します。
製品仕様
1.最高加熱温度1300℃
2.測定素子熱電対 WRe (5-26)
3.ルツボ容量100cc~600cc
4.ヒーターTaヒーター (リボン型)
5.ルツボ材質PBN製
6.取付け方法据え置き型 (フランジマウントも対応可)
1.ロールコーターやインライン等、連続成膜する装置に最適です。
2.ルツボ容量、セル幅は装置に合せて製作致します。
1.最高加熱温度1300℃
2.測定素子熱電対 WRe (5-26)
3.ルツボ容量100cc~600cc
4.ヒーターTaヒーター (リボン型)
5.ルツボ材質PBN製
6.取付け方法据え置き型 (フランジマウントも対応可)