製品案内
component information膜厚モニター ETM-100R/ETM-200R
概要
制御ユニットはカラー液晶表示で見やすく、操作も簡単です。
モニターする材料が内部登録されておりますので、パネル上にて材料が選択できます。任意で材料を入力することも可能です。
表示は日本語と英語の選択が可能です。
制御ユニットは１チャンネル表示と２チャンネル表示の２タイプ用意しており、２チャンネル表示は１台のユニットで２本のセンサーを使用することができます。
製品仕様
■ センサー
１．フランジサイズ φ70ＩＣＦ / φ90ＶＦ
２．シャッター シャッター無し / 手動 より選択
３．全長 305mm （指定寸法に合わせて製作可能）
■ 制御ユニット ４．ＲＡＴＥ分解能 0.01Å
５．ＲＡＴＥ表示分解能 0.01Å/sec （0～999.99Å/sec）
６．周波数測定範囲 6～5MHｚ
７．膜厚表示 0～9.999ｋÅ
８．接続センサー ETM-100R：1台 / ETM-200R：2台
９．レコーダ出力 0～10V（RATE）（出力電圧範囲は、0-10V内にて任意に設定可能）
１０．制御出力 THICKNESS SETPOINT
１１．表示部 カラー液晶タッチパネル
１２．所要電力 AC100V 50VA
１３．外形寸法 H150×W200×D300
■ オシレータ センサー部に接続
■ 接続ケーブル １４．BNCケーブル 10ｍ
