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超高真空に対応しています。
フィラメントに対して原料からの付着が殆どありません。
180°偏向型のEBガンと比較した場合、フィラメントの寿命が長くなります。

１. 加速電圧 10kV
２. エミッション電流 0～500mA
３. フィラメント電流 0～30A
４. ルツボ 3cc×8個
５. シャッター 無、手動、自動より選択
６. X,Yスイープ機構付 ±5mm