製品案内

本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
蒸発面に対して基板が±90°回転しますので、傾斜蒸着が可能です。
５連の電子銃蒸発源を装備しているにも拘らず、非常にコンパクトに設計されています。
設置スペースは、2ｍ×2ｍですので、小スペースにも設置可能です。

■ 蒸着チャンバー
１．到達圧力 10⁻⁷Pa台（ベーキング後）
２．チャンバーサイズ φ305ICF×L700
３．基板ホルダー サイズ ： 2インチ
基板加熱温度 ： 最高 500℃ 冷却機構付（LN2による冷却）
４．蒸発源 3ｋW5連型EBガンルツボ容量 ： 2cc×5
５．膜厚モニター レート分解能：　0.1Å
６．排気系 TMP＋RP
■ LLチャンバー
７．到達圧力 10⁻⁴Pa台
■ オプション
８．ベーキングシステム