製品案内

本システムは、100mm角の大型基板に対応しています。
複数のターゲットによる対向スパッタリングが可能です。
チャンバー上部フランジ開閉用の専用リフターが装備されています。

■ スパッタ室
１. 到達圧力: 1×10⁻⁶Pa以下
２. 基板寸法: 100mm×100mm
３. 基板温度: Max　300℃
４. スパッタ源 ターゲット寸法　φ6インチ
５. 排気系 TMP
■ 処理室
６. 到達圧力:1×10⁻⁵Pa以下
７. 基板サイズ:100mm×100mm
８. 基板温度:RT～300℃
９. 保護膜用イオン源
１０.排気系 TMP