製品案内

6インチのスパッタ源を１元装着しており、大きなサイズの基板に最適です。
成膜ソフト（オプション）を付けることにより、更に作業の効率化を図ることが可能です。

■ スパッタチャンバー
１．到達圧力 4×10⁻⁵Pa以下
２．チャンバーサイズφ406×600H
３．基板寸法 6インチ（冷却・回転機構付）
４．スパッタ源 6インチ
５．排気系 TMP500L/sec　　R.P250L/min
■ オプション
６．成膜ソフト　/　膜厚モニター