製品案内
Product information真空蒸着装置 VX-20
概要
あらゆる機構を簡略・小型化し、Kセル／EBガン／スパッタ源等を組み合わせることにより、
さまざまな薄膜作製ができるよう開発された装置です。
製品仕様
■ 本体
１．到達圧力 10⁻⁵Pa台
２．排気系 TMP210L/sec R.P162L/min
■ オプション
３．加熱機構付基板ホルダー 最高温度 500℃
４．サイドエントリー型セル ルツボ容量 1cc / 最高加熱温度 1300℃
５．スパッタ源 2インチ
