製品案内

簡単にアルミニウムを蒸着できる卓上型の蒸着装置です。
バスケットタイプの蒸発源で、基板は支柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変えられます。

排気系はTMPとR.Pを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。

１．到達圧力 1.33×10⁻⁴Pa

２．チャンバーサイズφ216mm×200mmH

３．チャンバー材質 パイレックス

４．蒸発源

抵抗加熱（バスケットタイプ）シャッター、高さ調整機構付

５．出力電圧 12V　50A

６．真空計 フルレンジゲージ

７．排気系 TMP70L/sec　　R.P50L/min（OMT付き）

８．オプション 試料ホルダー　（サイズは任意に指定）

９．試料ホルダー　（サイズは任意に指定）