製品案内

本装置は、簡単に金、アルミニウム等を蒸着できる簡易型の蒸着装置です。

バスケットタイプの蒸発源で、基板は支柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変えられます。

基板は500℃まで加熱でき、温度調節計により温度制御を行います。

排気系はTMPとR.Pを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。

１．到達圧力 1.33×10⁻⁴Pa

２．チャンバーサイズφ220mm×200mmH

３．チャンバー材質 パイレックス

４．基板ホルダー

加熱温度　         ：　300～500℃

温度測定素子　 ：　熱電対K

試料寸法　         ：　10～50ｍｍ

５．蒸発源

抵抗加熱（バスケットタイプ）シャッター、高さ調整機構付

６．出力電圧 12V　50A

７．真空計 フルレンジゲージ

８．排気系 TMP70L/sec　　R.P50L/min　（OMT付）