製品案内

水晶振動子をリボルバー式に4枚搭載する事により、水晶振動子の寿命やエラー等によるチャンバー大気開放のメンテナンスサイクルを長くできます。
ベーキングが可能なUHV対応です。

1.搭載水晶振動子数6MHz × 4枚
2.取付けフランジφ 152ICF
3.ベーキング温度200℃
4.水晶振動子切替手動（ｵﾌﾟｼｮﾝ：ﾓｰﾀｰ駆動）
5.水冷パイプφ 1/4ｲﾝﾁ
6.L寸法はお打合せにより決定させて頂きます。