製品案内

コンパクトな設計で、ターゲットサイズはφ1インチです。
ターゲットサイズが小さい為、研究・開発向けの高価な材料など、様々な種類のターゲットに対応できます。
フランジマウントの為、メンテナンスが簡単です。
ＵＨＶ仕様です。
スパッタ成膜時のレート安定性に優れています。

１.ターゲット寸法　　　φ1インチ(φ25.4mm)
２.冷却方式　　　　　　水冷
３.取付けフランジ　　 φ114ICF