製品案内

component information

シャッター機構 EWS-200

概要

チャンバー側面から基板直下にシャッターを出し入れ出来ます。
直線移動方式を採用しています。

製品仕様

1.ストローク：200ｍｍ
2.位置精度：0.1ｍｍ
3.パルスモーターによる自動制御
4.駆動速度可変
5.インターロック

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