製品案内
component informationマニピュレーター MB-4000LC
概要
１．赤外線ランプヒーター加熱方式により、50Ｐａ酸素雰囲気での加熱が可能です。
２．水冷反射鏡の採用により、800℃まで急速加熱ができます。（800℃まで2分で加熱）
３．基板ホルダーを水冷反射鏡に直接接触する構造の採用により、降温時の冷却特性に優れ成膜後の試料交換の時間を短縮でき、スループットの向上が計られます。（800℃から100℃まで30分）
製品仕様
１．基板寸法φ3インチ
２．ヒーターランプヒーター
３．基板温度800℃
４．可動範囲Ｘ軸 ：±5ｍｍＹ軸 ：±5ｍｍＺ軸 ：±10ｍｍ傾斜 ：±3°面内回転：360°
５．取付けフランジφ253ＩＣＦ
６．シャッター手動、エア駆動より選択
