製品案内
component informationBFM移動機構 EBM-1000
概要
ヌードゲージタイプのビーム強度測定機です。
移動機構付で移動量はチャンバーに合わせて製作致します。
製品仕様
1. 動作圧力 1×10⁻¹~2.7×10⁻⁹Pa
2. 取付けフランジ φ114ICF
3. 移動量 チャンバーに合わせて製作
ヌードゲージタイプのビーム強度測定機です。
移動機構付で移動量はチャンバーに合わせて製作致します。
1. 動作圧力 1×10⁻¹~2.7×10⁻⁹Pa
2. 取付けフランジ φ114ICF
3. 移動量 チャンバーに合わせて製作