製品案内
component informationマニピュレータ MB-4200K
概要
マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。
又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。
製品仕様
１. 基板寸法φ2インチ
２. 基板温度 Ta ： 1000℃Max （基板表面）/ ランプ：800℃Max(基板表面)
３. 可動範囲 X軸 ±5mm Y軸 ±5mm Z軸 ±10mm
傾斜 ±3°(トップエントリー型) / ±105°(サイドエントリー型)
４. 取付けフランジ φ203ICF トップエントリー型 / サイドエントリー型
５. シャッター 手動 エア駆動 の何れかより選択
