製品案内
component informationラジカル源 ER-1000
概要
放電室が大きく、しかも無電極であるため、長時間プラズマ放電を持続させても汚れが全くなく、安定したラジカルビームが供給できます。
ファイバースコープ/分光器を装備できますので、放電中の光強度スペクトルを常時CRT上で監視しつつ、ビーム量の調整操作を行なえます。
製品仕様
１. ラジカルフラックス強度 10E15atoms/cm2・sec以上
２. RF出力 ～300W（標準タイプ） ～500w（高出力タイプ）
３. イオントラッパー電圧 最大600V
４. マスフローコントローラー 10sccm （オプション）
５. 移動機構 ±60mm （オプション）
６. 取付けフランジ φ152ICF （標準） φ70ICF / φ114ICF にも対応
