製品案内

超高真空用としてのベーカブル機構を完備しており、高圧ケーブルを抜くだけで電子銃は200℃のベーキング温度に耐えられます。
電子銃はピアス型でセルフバイアス方式を採用し、明るいスポット/安定した高い分解能指数のパターンが得られます。

蛍光板に鉛ガラスを使用し、完璧な漏洩X線対策が施されています。
電子銃は、差動排気型もあります。

１. 加速電圧 30ｋＶ
２. フィラメント形式 ヘアピン型
３. 電子ビーム径 ø90μm　（基板面と蛍光板間の距離が400ｍｍの場合）
４. 耐真空度 10-9Pa
５. ベーキング温度 200℃
６. 取付けフランジ φ114ICF