製品案内

Seのクラッキング効率が良く、少量の原料でも効率良く成膜が行えます。

１. 最高温度 500℃
２. 容量 500cc～2000cc
３. ヒーター シースヒーター及びカートリッジヒーター
４. ラジカルフラックス強度 1015atoms/cm2・sec以上
５. ＲＦ出力 100～300W　（連続可変）
６. ＰＢＮライナー付き
７. 耐ベーキング温度 200℃
８. 取付けフランジ φ203ICF
９. シャッター エア駆動
＊当製品は国内販売に限ります。