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ＭＢＥに於いて、結晶成長室とＫセルの間にバルブを設けることにより、相互に真空遮断できる構造となり、結晶成長室のベーキング温度の影響がセルに及ぶことを防ぐことができるようになります。それにより、Se/S/P/Asの様な高蒸気圧を持つ材料でも固体蒸発源として使用することができます。

１. 加熱温度 最高加熱温度500℃
２. 容量 60cc～Max 2000cc
３. ヒーター シースヒーター及びカートリッジヒーター
４. 耐ベーキング温度 200℃
５. 取付けフランジ φ114ICF
６. シャッター 手動、エア駆動より選択
７. オプション セル先端部にクラッキング機構の取けが可能です。
熱クラッキング又はRFクラッキングの2種類が用意されています。