装置情報
Products
01_MBE装置
MBE / 水冷MBE
02_スパッタリング装置
CVD+マルチターゲットスパッタ複合装置 / 超高真空マルチターゲットスパッタリング / スパッタ装置
03_真空蒸着装置
真空蒸着装置 / 簡易薄膜コーティング装置
04_EB蒸着装置
EB蒸着装置 / 電子線MBE
05_ALD装置
ALD装置
06_PXP成膜装置
高品質PXP成膜装置（パラキシリレンポリマー）パリレン
07_CVD装置
CVD / プラズマCVD
08_有機蒸着装置
有機薄膜作製装置 / 有機蒸着装置 / 有機EL蒸着装置
09_接合装置
Bonding systems
10_特注装置
ロールコーター / カーボンナノチューブ合成装置 / Laser Ablasion / RIE / マルチチャンバーシステム / UHV評価封止装置
11_電子顕微鏡周辺装置
イオンコータ / 凍結乾燥器 / イオンミリング装置
ＥＢ蒸着・スパッタリング・接合などの各種受託試料作成を承っております。 詳しくはこちらからご相談ください。
